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介紹HYDAC壓力傳感器技術(shù)文章

來(lái)源:上海歐凱機(jī)械設(shè)備有限公司   2019年01月04日 14:06  

介紹HYDAC壓力傳感器技術(shù)文章
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賀德克HYDAC壓力傳感器當(dāng)外部壓力通過(guò)增壓室進(jìn)入傳感器的應(yīng)力杯時(shí),應(yīng)力硅薄膜會(huì)由于外力而輕微膨脹,導(dǎo)致彈性變形,四個(gè)電阻應(yīng)變計(jì)的電阻也會(huì)隨之變化,破壞了原有惠斯頓電橋電路的平衡,電橋的電阻也隨之變化。t輸出電壓信號(hào)與壓力成比例.Hedek Hydac壓力傳感器的特點(diǎn)包括:1)降低質(zhì)量和尺寸;2)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)電路避免復(fù)雜電路和外圍結(jié)構(gòu);3)形成傳感器陣列以獲得陣列信號(hào);4)易于處理和使用壽命長(zhǎng);5)生產(chǎn)成本低,Hedek Hydac壓力傳感器包括低能耗減少材料;6)避免或減少貴重物品的使用。其中,壓力傳感器是一種影響zui的影響深遠(yuǎn)、應(yīng)用廣泛的MEMS傳感器。海德克液壓傳感器的性能取決于測(cè)量范圍、測(cè)量精度、非線性和工作溫度。
賀德克HYDAC壓力傳感器工作特點(diǎn):
賀德克HYDAC壓力傳感器主要用作外科手術(shù)的一次性低成本導(dǎo)管。但它們也被用于昂貴的設(shè)備中,以感應(yīng)持續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)器中的壓力和差電流。這些設(shè)備潛力巨大,2015年后可能成為植入式傳感器。植入式傳感器無(wú)需電池即可工作,可用于心臟測(cè)量和青光眼監(jiān)測(cè)。在工業(yè)領(lǐng)域,海德克液壓傳感器的主要應(yīng)用包括加熱、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、水平測(cè)量、各種工業(yè)過(guò)程和控制應(yīng)用。例如,除了的高度壓力測(cè)量,飛機(jī)還使用傳感器來(lái)監(jiān)測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)、襟翼和其他部件。壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的傳感器。我們通常使用的壓力傳感器是由壓電效應(yīng)制成的。這種賀德克HYDAC液壓傳感器又稱壓電傳感器。輪廓線的定義是指使用隔膜裝置(不銹鋼隔膜、硅樹脂隔膜等)作為介質(zhì),用壓力傳感元件測(cè)量氣體和液體的壓力,并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出裝置的裝置。半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散(PID)是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力的過(guò)程。HYDAC壓力傳感器通過(guò)外力(壓力)使薄片變形,產(chǎn)生壓電阻抗效應(yīng),從而將阻抗變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。壓力范圍可由傳感器測(cè)量。當(dāng)耐受壓力恢復(fù)到試驗(yàn)壓力時(shí),耐受壓力不會(huì)導(dǎo)致性能下降。在靜電容量類型中,Hedek Hydac壓力傳感器是由玻璃固定電極和硅可移動(dòng)電極相對(duì)形成的電容器。移動(dòng)電極變形引起的靜電容量的變化,會(huì)被外力(壓力)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。半導(dǎo)體變形壓力計(jì)的結(jié)構(gòu)。
賀德克壓力傳感器易于與微型溫度傳感器集成,提高了溫度補(bǔ)償精度,大大提高了傳感器的溫度特性和測(cè)量精度。賀德克壓力傳感器的工作原理是介質(zhì)壓力直接作用在傳感器的隔膜上,使隔膜產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成比例的微位移,改變傳感器的電阻,用電子電路檢測(cè)變化,并轉(zhuǎn)換輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)C。與壓力有關(guān)。傳感器采用隔膜隔離技術(shù),測(cè)試頭無(wú)壓力孔,測(cè)量過(guò)程中無(wú)粘性介質(zhì)堵塞,整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。賀德克HYDAC液壓傳感器適用于化工涂料、油漆、泥漿、瀝青、原油等粘性介質(zhì)的壓力測(cè)量和控制。原油壓力傳感器的應(yīng)用。溫度和靜壓特性以及壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。石化行業(yè)對(duì)壓力傳感器的需求主要體現(xiàn)在四個(gè)方面:測(cè)量精度、快速響應(yīng)、溫度和靜壓特性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性。賀德克壓力傳感器是采用半導(dǎo)體材料和MEMS技術(shù)制造的一種新型壓力傳感器。它具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅材料疲勞低,用該材料制作的微壓傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。
賀德克HYDAC壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導(dǎo)氣管組成,被測(cè)介質(zhì)壓力P通過(guò)隔離膜片和硅油傳遞到硅杯元件的一側(cè),大氣參考?jí)簆o通過(guò)導(dǎo)氣管作用到硅杯元件的另一側(cè),硅杯元件是一個(gè)底部加工得很薄的杯形單晶硅片。杯底膜片在壓力P和Po做用下產(chǎn)生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,賀德克HYDAC壓力傳感器其變形與壓力成嚴(yán)格的正比關(guān)系,而且復(fù)原性能又*。硅膜片上用半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝形成的四個(gè)橋路電阻布置成方形,當(dāng)硅膜片受到壓力產(chǎn)生變形時(shí),處于對(duì)角線上的二電阻受壓應(yīng)力,而另為二個(gè)電阻受張應(yīng)力,賀德克HYDAC壓力傳感器由于擴(kuò)散硅的壓阻效應(yīng),使相對(duì)的二個(gè)電阻阻值增大,二另為二個(gè)電阻阻值減小。如果在A-A二端上加上電壓,則C-D間就有一個(gè)P-Po差壓成正比的電壓信號(hào)輸出。壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時(shí)變形??梢岳脩?yīng)變儀(壓阻型感測(cè))來(lái)測(cè)量這種形變,賀德克HYDAC壓力傳感器也可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間距離的變化來(lái)加以測(cè)量。這兩種方法都很流行。
上海金仟絲機(jī)械設(shè)備有限公司
從事各類液壓,工控,氣動(dòng)元件的公司。作為眾多工業(yè)設(shè)備的生產(chǎn)廠商在中國(guó)的代理,公司為廣大用戶提供性能*、價(jià)格合理的泵,傳感器、儀表、電磁閥產(chǎn)品。主要包括泵,傳感器、儀表、電磁閥等。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于化工、油化工、電力、冶金、環(huán)保、大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)。可滿足不用戶的不同產(chǎn)品需求。公司自主報(bào)關(guān),國(guó)外采購(gòu),以保證良好的服務(wù)為宗旨。與國(guó)內(nèi)外各企業(yè)建立廣泛的合作伙伴關(guān)系.
使賀德克HYDAC壓力傳感器結(jié)構(gòu)更精細(xì),性能更*,以適應(yīng)各種環(huán)境測(cè)量壓力的要求。促使傳感器從一般測(cè)量元件向長(zhǎng)期工作的控制元件發(fā)展。這不但要求高性能、高穩(wěn)定,作為一個(gè)整體傳感器還必須適應(yīng)各種苛刻環(huán)境并確保安全。因此,賀德克HYDAC壓力傳感器除敏感元件工藝外,系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也*。微系統(tǒng)的表征和測(cè)試技術(shù)主要有結(jié)構(gòu)材料特性測(cè)試技術(shù),微小力學(xué)、電學(xué)等物理量的測(cè)量技術(shù),微型器件和微型系統(tǒng)性能的表征和測(cè)試技術(shù),賀德克HYDAC壓力傳感器微型系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性測(cè)試技術(shù),微型器件和微型系統(tǒng)可靠性的測(cè)量與評(píng)價(jià)技術(shù)。
賀德克HYDAC壓力傳感器作為力電變換測(cè)量電路,將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量。賀德克HYDAC壓力傳感器使壓力控制變得簡(jiǎn)單易用和智能化。傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形,由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出,因此它不可能如壓力傳感器那樣做得像IC那么微小,成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于壓力傳感器。壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。賀德克HYDAC壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的,具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗,極低的成本?;菟诡D電橋的壓阻式傳感器,如無(wú)壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。賀德克HYDAC壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁,采用MEMS技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力zui大處,組成惠斯頓測(cè)量電橋。
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