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ICP-MS分析氫氟酸中的砷

閱讀:800      發(fā)布時間:2020-03-24
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    氫氟酸是一種無色、有刺激性氣味的揮發(fā)性液體。因?yàn)樗姆磻?yīng)活性高,對溶解半導(dǎo)體硅晶片的非必需成分具有的功效,因此被認(rèn)為是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必需的化學(xué)品之一。

 

    氫氟酸不容易離子化,被歸類為弱酸,但它的氫結(jié)合力強(qiáng),與空氣中的水分反應(yīng)時會引起大爆炸。另外,它的腐蝕性比鹽酸強(qiáng),與其他酸不同,它能穿透皮膚,輕易滲透到組織內(nèi)部,產(chǎn)生強(qiáng)烈的毒性。

    本實(shí)驗(yàn)評估比較了不使用反應(yīng)氣體的標(biāo)準(zhǔn)模式和使用氨氣的DRC模式的分析結(jié)果的可靠性。

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珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司

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