美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機電驅(qū)動系統(tǒng)，高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)具有高分辨率，高電壓波形，價格經(jīng)濟實惠，是一套適合目前科研人員，學生和老師使用的強大工具。教師通過外接投影儀可以用該系統(tǒng)向?qū)W生展示理論概念，而科研人員能以視頻和圖片的方式記錄設備操作以便于相互之間的合作。
美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機電驅(qū)動系統(tǒng)
特點
• 完整的軟件工具
• 任意/函數(shù)波形發(fā)生器
• 精確的信號放大
• 立體變焦三目顯微鏡
• 高分辨率視覺系統(tǒng)
• 實驗室微型探針臺應用
• MEMS/NEMS器件
• 壓電器件
• 傳感器開發(fā)
• 微型驅(qū)動器
• 教育, 科研, 技能培訓
TEGAM9072J 型高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)具有高分辨率，高電壓波形，
價格經(jīng)濟實惠，是一套適合目前科研人員，學生和老師使用的強大工
具。教師通過外接投影儀可以用該系統(tǒng)向?qū)W生展示理論概念，而科研
人員能以視頻和圖片的方式記錄設備操作以便于相互之間的合作。
9072J高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)*推出了一套用于微電子器件驅(qū)動和可
視化測量的完整系統(tǒng)。
MEMS移動
自 從 MEMS技術產(chǎn)生以來 ，TEGAM產(chǎn)品就一直用于MEMS器件的驅(qū)動。
通常使用三個工具即可實現(xiàn)MEMS移動：
1. 一個任意波形發(fā)生器
2. 一個功率放大器
3. 一個夾具或一個探頭
使用波形發(fā)生器可實現(xiàn)適當?shù)尿?qū)動觸發(fā)，發(fā)生器通常限定為10 Vp - p。
根據(jù)被驅(qū)動的元器件不同所要觸發(fā)的振幅也有所不同。電壓放大器可
以把發(fā)生器的低電壓輸出幅度提高到更高的驅(qū)動值，以滿足微電子器
件測試時的驅(qū)動電壓值。因為大多數(shù)的器件都有正常的操作頻率和振
幅，所以老師和學生應采取一定預防措施來選擇合適的驅(qū)動值?？蒲?/span>
人員在生產(chǎn)MEMS/NEMS器件時應該從低頻率和低電壓開始，逐步提高
兩項的值以達到期望的結(jié)果。
問題
微機電器件是如此之小，如果沒有視覺輔助系統(tǒng)就檢測不到它的正常
移動?？蒲腥藛T通常使用單一的光學檢測顯微鏡觀察移動，但是這種
檢測方法對于一些小組成員，想集體觀察實時發(fā)生的情況是有局限性
的。完整的測量系統(tǒng)還需補充額外的驅(qū)動觸發(fā)和測量設備。
TEGAM的解決方案
9072J高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)包括：
1.2732：雙通道任意波形發(fā)生器
2.軟件：Excel/WaveWorks DDS,
Video Image Express
3. 2350：雙通道電壓放大器
4. 戴爾電腦
5. 顯微鏡/照明
6. 微探針臺
7. 高分辨率視覺系統(tǒng)和軟件
函數(shù)發(fā)生器
TEGAM9072J型高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)包括一個2732函數(shù)發(fā)生器，
它具有兩個單獨的通道，可提供兩個獨立的達50MHz的波形。 2732
同時具有同類任意波形發(fā)生器中zui大的存儲量，達400萬點的數(shù)據(jù)存
儲，擁有14位分辨率。
函數(shù)發(fā)生器軟件
隨 機 的 軟 件 包 為 WaveWorksDDS TM ，允許進行逐點的操作和
創(chuàng)建波形。創(chuàng)建后的、可達400萬點×2通道的波形，可通過RS-232接
口 或 GPIB接 口 下 載 至 儀 器 。WaveWorks DDS TM 軟件也可以從
泰克，力科，安捷倫等公司大多數(shù)的示波器中導入波形。創(chuàng)建波形的
另一個有用工具是Microsoft Excel，用Excel表中普通的數(shù)學函數(shù)功能
就能夠創(chuàng)建不同的波形，長度可達65,535點。用戶還可以在Excel中
用圖表工具預覽波形數(shù)據(jù)。生成的數(shù)據(jù)可以保存到文件中，然后導入
WaveWorks DDS TM 軟件。2732采用逗號描述導入方式， 可從允許逗
號分隔文件的任何軟件中導入數(shù)據(jù)，如MATLAB®，示波器文件，或從
其他可生成CSV格式的設備中導入數(shù)據(jù)。
電壓放大器
TEGAM2350型電壓放大器被用做2732函數(shù)發(fā)生器的補充放大器。
9072J高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)中包括一個固定增益為50倍的，2350型雙
通道放大器。
許多微機電器件需要超過100 Vp – p的驅(qū)動觸發(fā)，2350放大器擁有400
Vp - p的zui大輸出電壓，能夠滿足目前MEMS元器件的驅(qū)動需求和未
來可能的技術發(fā)展。在40 mA的連續(xù)電流下，2350可以驅(qū)動達200pF
的電容負載，同時保持200kH z的全功率帶寬。
計算機/顯微鏡/照明
9072J高壓微機電驅(qū)動系統(tǒng)還包括一個PC機，預裝的軟件包括：
1. WaveWorks DDS
2. Excel
3. Video Image Express Control
和測量軟件
三目立體顯微鏡同步實現(xiàn)現(xiàn)場立體觀測和攝像頭成像。每個系統(tǒng)都配
備一個360°的無影環(huán)形熒光照明器，以便實現(xiàn)合適的照明。
攝像頭
USB2.0接口的攝像頭無需復雜的視頻采集卡即可快速、輕易的獲取圖
像。攝像頭分辨率可選，能夠達到每秒25幀的實時圖像觀察。高分辨
率(300萬像素)的圖像捕捉性能極其適合于檢測使用。而一個簡單的
用戶軟件界面即可實現(xiàn)對攝像頭的控制，只要點擊一下鼠標就可以捕
捉到圖像并以.jpg和.bmp的格式保存圖像。
微探針臺
這個堅固耐用的基礎探針臺可用于良好的有源和無源器件的研究，也
可用于高校的教學和培訓。探針臺由一個真空固定的精密的X-Y軸和Z軸
升降臺組成。為便于操作，測試設備的移動不依賴探頭位置的作用。堅固
的三軸定位在X軸，y軸和Z軸上有25mm的調(diào)整范圍，并磁附到平臺上。
美國TEGAM 9072J 型高壓放大器微機電驅(qū)動系統(tǒng)參數(shù)
美國TEGAM簡介
TEGAM 公司成立于1979年，總部和生產(chǎn)設在美國俄亥俄州克里夫蘭市東，專注于設計、生產(chǎn)多種測試測量和校準儀器。
TEG AM 公司微歐計和阻抗測試產(chǎn)品廣泛應用于軍用和民用航空業(yè)的設計、制造和維護M R O 過程中的各個檢測環(huán)節(jié)，使
用TEG AM 公司儀器的客戶包括：
• 波音公司
• 麥道公司
• 洛克希德.馬丁公司
• 斯科斯基公司
• 貝爾直升機公司
• 休斯直升機公司
• 羅克韋爾公司
• 通用動力公司
• 眾多航空公司的MRO基地
• 美國國防機構
校準和服務計劃
校準、延長保修期和服務計劃適用于所有的TEG AM 產(chǎn)品。這些計劃節(jié)省您的時間和花費，并且確保您的儀器性能得到優(yōu)化。這些計劃可以伴隨著新儀器的采購、以優(yōu)惠的價格購買。TEG AM 獲得更多信息。
實驗室認證
TEG AM 公司符合ISO /IEC 17025;2005中“測試和校準實驗室能力的通用要求”的條件和要求，通過了 A2LA (美國實驗室認證委員會)的認證，達到ISO /IEC 17025:2005的要求。認證號碼 2018.01.
R 1L-E2A本安型搭接電阻表和微歐計，滿足的標準. ATEX Ex ia IIA T4 G a和 C -U L-U S Listed C lass I D iv.1,G roup D com pliance w ith AN SI/U L 913-1988, Fifth Edition, 21 Feb.,1997
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