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當(dāng)前位置:深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>光學(xué)顯微鏡>>顯微鏡>> TM3日本hrd-thermal熱物理顯微鏡熱射流率測量
產(chǎn)品型號TM3
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-09 13:23:16瀏覽次數(shù):363次
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日本hrd-thermal熱物理顯微鏡熱射流率測量 TM3 特點介紹
用于測量薄膜和微區(qū)域的熱射流率
熱物性顯微鏡是測量熱射流率的裝置,熱射流率是熱物性值之一。
這是一種可以測量樣品的點、線、面熱物理性質(zhì)的裝置。
還可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在傳統(tǒng)的熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認為是困難的。
這是一個能夠?qū)嵛锢硖匦赃M行非接觸式高分辨率測量的設(shè)備。
檢測光斑直徑為 3 μm,可實現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物性測量(點、線、面測量)。
由于可以在不同深度進行測量,因此可以測量從薄膜、多層膜到散裝材料的所有物體。
也可以測量基材上的樣品。
使用激光的非接觸式測量。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。
日本hrd-thermal熱物理顯微鏡熱射流率測量 TM3 規(guī)格參數(shù)
名稱/產(chǎn)品名稱熱物性顯微鏡/熱顯微鏡
測量模式熱物性分布測量(一維/二維/1點)
測量項目熱射流率,(熱擴散率),(導(dǎo)熱率)
檢測光斑直徑約3μm
1點測量標準時間10秒
待測薄膜厚度:數(shù)百nm至數(shù)十μm
重復(fù)性Pyrex 和硅的熱射流率小于±10%
樣本1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm
2.板狀試料 30mm×30mm以內(nèi)で厚さ3mm以內(nèi)
試料表面の鏡面研磨が必要です。
試料表面にMoのスパッタリングが必要です。
使用溫度範(fàn)囲24℃±1℃(裝置內(nèi)蔵溫度センサーによる)
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