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超環(huán)面光柵單色器，采用像差校正超環(huán)面光柵進(jìn)行衍射分光，可以在較寬光譜范圍內(nèi)保證高的光譜分辨和光通量。 通過選配不同的光柵型號，可以實(shí)現(xiàn)10-300nm范圍的光譜覆蓋。超環(huán)面光柵單色器可應(yīng)用于強(qiáng)場與高能量密度物理、半導(dǎo)體與集成電路制造、探測器&光源計(jì)量級標(biāo)定和極紫外反射率研究。

主要參數(shù)：

● 波?范圍：10~300nm

● 低像散

● ?真空兼容，10-4 Pa，超?真空可定制，10-7 Pa

● 具有5μm~300μm在線連續(xù)可調(diào)狹縫

● 單光學(xué)元件設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡單，效率?

● 具備遠(yuǎn)程激光快速瞄準(zhǔn)定位功能

● 光譜分辨率：0.1nm@37.93nm，可根據(jù)需求優(yōu)化

選配范圍：

測試數(shù)據(jù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：