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寫真化學自動對位功能測厚儀
  • 寫真化學自動對位功能測厚儀

貨物所在地：北京北京市

所在地： 日本

更新時間：2024-11-02 15:32:59

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寫真化學自動對位功能測厚儀，能夠對最大 300 mm 的晶圓的整個表面進行自動涂層厚度映射測量

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映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。 自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。 此外，它可以安裝在半導體制造設備的負載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設備上的薄膜厚度。


  • 測量數(shù)據示例（2D 膜厚分布）層壓晶圓的硅
    厚度 （nm）

  • 測量數(shù)據示例（3D 薄膜厚度分布）層壓晶圓的硅厚度
    （nm）

  • 測量數(shù)據示例（薄膜厚度的頻率分布）層壓晶圓中的硅厚度

  • 測量數(shù)據示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）5 個晶圓的膜厚分布趨勢


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