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今日推薦KAKUHUNTER寫真化學成像膜厚計今日推薦KAKUHUNTER寫真化學成像膜厚計這是一種膜厚計，可以利用顯微圖像光譜法將透明多層膜的膜厚分布可視化。由于使用光學干涉法計算膜厚，因此可以以0.1nm以下的分辨率以3D方式顯示膜厚分布。測量顯微鏡視野內任何區(qū)域的膜厚和膜質量分布，并以3D形式顯示分布分辨率相當于可見光波長干膜測厚儀波長范圍從450nm到750nm可以以1nm增量使用與反射膜厚度監(jiān)視器相同的計算引擎進行并行計算應用實例①數(shù)百層重復層壓薄膜、溝槽等復合結構。②使用EMA（有效
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KAKUHUNTER寫真化學測繪測量膜厚儀KAKUHUNTER寫真化學測繪測量膜厚儀特征測繪膜厚儀能夠對最大300mm的晶圓整個表面進行自動測繪膜厚測量。自動對準功能和高度平坦的晶圓吸盤可實現(xiàn)高度可靠的膜厚測量。另外，通過設置在半導體制造裝置的裝載口，可以在保持清潔度的同時管理制造裝置上的膜厚。1可對最大300mm的晶圓進行全表面自動薄膜厚度測繪測量2自動對位功能通過自動檢測缺口和定向平面位置以及自動檢測晶圓偏心，實現(xiàn)高精度測量。3通過使用具有高平坦度的晶圓卡盤，提高了晶圓平面內的測量可靠性4可
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今日分享KAKUHUNTER寫真化學反射式膜厚監(jiān)測儀今日分享KAKUHUNTER寫真化學反射式膜厚監(jiān)測儀反射式膜厚監(jiān)測儀是一種反射分光式膜厚計，采用小型反射探頭并采用光學干涉測量法，可應用于從實驗室水平到生產過程中在線檢查的所有情況。它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設備中或用于生產線管理目的。最多可同時測量9種透明薄膜。它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設備中或用于生產線管理目的。例如，它可以用作成膜、拋光和蝕刻過程中的在線監(jiān)控器或終點監(jiān)控器（終點檢測傳感器），并可以實時監(jiān)控膜厚。它還可用 -
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