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什么是靜電計？
靜電儀器是測量物體表面產(chǎn)生的靜電電壓的裝置。
這是一種配備有表面電位傳感器的裝置，可以進(jìn)行非接觸式測量，通過將表面電位傳感器指向待測物體來測量表面電位。測量靜電的設(shè)備也稱為表面靜電計或靜電電位測量設(shè)備，主要用于制造業(yè)的生產(chǎn)過程，但也出售與安裝環(huán)境兼容的設(shè)備。
靜電計的使用方法
以下問題都是由生產(chǎn)過程中的靜電引起的，但為了采取措施加以預(yù)防，首先需要準(zhǔn)確測量靜電的產(chǎn)生量。在驗證和評估對策的有效性時也會測量靜電的大小。根據(jù)工藝的不同，它可以用于持續(xù)監(jiān)控靜電產(chǎn)生的狀態(tài)。
1.異物附著
這可能會導(dǎo)致帶電異物（灰塵等）附著在帶電產(chǎn)品上等問題。例如，在涂裝過程中會造成涂層不均勻。
2.靜電損壞（ESD損壞）
半導(dǎo)體元件（例如集成電路）的電路元件可能會被靜電放電損壞。
3. 故障
當(dāng)靜電放電時，以微小電流和電壓運行的設(shè)備（電子天平、重量檢查器、金屬探測器等）可能會受到電磁噪聲的影響。
4、對人體的放電等。
帶電物體向人體的靜電放電，不僅會給人體帶來疼痛和不適，還會引起設(shè)備故障和著火（易燃物著火）。
靜電計原理
當(dāng)物體表面帶電并產(chǎn)生靜電時，周圍就會產(chǎn)生電場。靜電計測量該電場強(qiáng)度并計算靜電電壓。一般靜電計（表面靜電計）的原理如下。
表面電位傳感器利用靜電感應(yīng)現(xiàn)象，當(dāng)檢測電極接收到來自帶電物體的靜電場強(qiáng)度Eo（與充電電壓Vo成正比）時，檢測電極表面就會積累感應(yīng)電荷q。因此，如果在檢測電極和物體之間放置一塊足夠覆蓋整個檢測電極的屏蔽板并以恒定速度旋轉(zhuǎn)，則檢測電極中積累的感應(yīng)電荷q將在被屏蔽覆蓋的瞬間被釋放。當(dāng)屏蔽板經(jīng)過時，也會積聚感應(yīng)電荷q。電荷q的周期性運動，或者說交流電流Is的大小，取決于電場強(qiáng)度，因此通過測量電流Is，可以確定物體表面的帶電電壓Vo。
然而，利用上述測量方法，測量值很大程度上取決于表面電位傳感器和測量目標(biāo)之間的距離。隨著與測量目標(biāo)距離的增加，電場減弱，因此測量值不可避免地會顯得較小。因此，需要保持測量目標(biāo)與表面電位傳感器之間的規(guī)定距離。
另外，還有電壓反饋式表面電位計作為解決上述依賴于測量距離的問題的裝置。這將高壓電源連接至檢測電極并調(diào)整高壓電源的電壓輸出使得交流電流Is變?yōu)榱恪．?dāng)被測物體的電壓與傳感器的電壓相同時，電流Is停止流動，因此此時高壓電源的輸出電壓可以說等于被測物體的充電電壓。被測量。
靜電計的使用方法
要使用通用靜電計測量帶電物體的靜電，請按照以下步驟操作。
1. 將表面電位傳感器放置在靜電計確定的距離處，表面電位傳感器的檢測電極與待測表面平行。
2. 將測量量程設(shè)置為高于預(yù)期電壓的電壓并開始測量。獲得粗略測量值后，調(diào)整測量范圍并使用測量值。
用電壓反饋表面電位計測量時，表面電位傳感器的檢測電極與被測物體表面平行放置，但無需嚴(yán)格確定與物體的距離。逐漸增加高壓電源的電壓，找到流向檢測電極的交流電流變?yōu)榱愕狞c。此時高壓電源的輸出電壓就成為被測物體的帶電電壓，測量值的單位為V或KV。通過假設(shè)靜電的最大電壓來選擇合適的設(shè)備非常重要。
靜電產(chǎn)生的原因及預(yù)防
已知以下機(jī)制會產(chǎn)生靜電。
1、剝離充電
當(dāng)重疊的物體被剝離時，例如當(dāng)從塑料片上除去保護(hù)膜時，就會發(fā)生這種情況。
2.摩擦充電
當(dāng)物體相互摩擦?xí)r，例如混合東西、脫衣服或電機(jī)旋轉(zhuǎn)時，就會發(fā)生這種情況。
3.其他靜電荷
由于粉碎、粉末帶電等原因，靜電計用于測量暴露在此類條件下的物體的靜電。特別是半導(dǎo)體零件，由于靜電放電而發(fā)生故障的可能性很高，因此需要定期使用靜電計檢查工序。下面列出了生產(chǎn)過程中測量目標(biāo)的具體示例。
裝有各種半導(dǎo)體和其他電子元件及其部件、其保護(hù)膜和存儲架的托盤。
工作服、工作鞋、工作流程桌、椅子、地板
接地帶和接地附件部分
制造設(shè)備，如制造設(shè)備、檢查機(jī)、夾具和工具、烙鐵等。
工作標(biāo)準(zhǔn)和保護(hù)它們的塑料外殼
監(jiān)控顯示區(qū)域
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