XITON PHOTONICS-激光系統(tǒng)-IXION 193 SLM

產(chǎn)品型號(hào)：IXION 193 SLM

產(chǎn)品介紹：XITON PHOTONICS是泵浦固態(tài)激光器與非線性光學(xué)器件的專家。XITON PHOTONICS開發(fā)并制造了幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng)，波長范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國的全球運(yùn)營公司，擁有超過15年的經(jīng)驗(yàn)。IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)器件的校準(zhǔn)或高功率ArF 帶寬控制等應(yīng)用。該系統(tǒng)的波長可在185至194nm之間的范圍內(nèi)定制，并且可以在購買時(shí)預(yù)先配置為固定波長。作為一種選擇，將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中。這允許大限度地控制激光器的光譜調(diào)諧。

性能特點(diǎn)：

可靠性

參數(shù)：

產(chǎn)地：德國

波長：193.368 nm

平均功率：10mW

脈沖持續(xù)時(shí)間：典型值8-12 ns

每脈沖能量：1.6µJ

重復(fù)頻率：1-15 kHz

光束質(zhì)量：M2<1.6

頻譜帶寬：＜80 MHz

光譜可調(diào)諧性：>10pm

相干長度：>2 m

脈沖對(duì)脈沖刺入.：σ<2.5%