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UNECS-3000AULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
| 參考價: | ￥ 3265 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- UNECS-3000A 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：432更新時間：2024-11-23 11:45:39
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,石油,能源,電子,電氣 |
|---|---|---|---|
| 訂貨號 | 137**1702**3088王生 |
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量
產(chǎn)品介紹
ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀
可以進行映射測量的自動臺型
UNECS系列是一種分光橢偏儀，可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應(yīng)不同的應(yīng)用，包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A采用自動R-θ平臺和自動對焦功能，可快速自動測量基材表面內(nèi)的膜厚分布，并將結(jié)果顯示在彩色圖上。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量
特征
高速測量：
采用快照方式，實現(xiàn)了最高速度20ms的高速測量。
兼容可見光譜：
波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。
緊湊的傳感器單元：
光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產(chǎn)品陣容：
我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。
規(guī)格
| 模型 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波長范圍 | 530~750nm、380~760nm（任選其一） | |||
| 光斑直徑 | φ1mm、φ0.3mm（任選其一） | |||
| 入射角度 | 70o固定 | |||
| 膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |||
| 膜厚范圍 | 1nm?2μｍ | |||
| 測量時間 | 受光：20ms ? 3000ms 演算：300ms | |||
| 階段 | φ150mm自動 | φ200mm自動 | φ300mm自動 | |
| 自動測量 | 200點 | 200點 | 2,000點 | |
| 控制電腦 | 筆記本型（帶操作/分析軟件） | |||
| 機器構(gòu)成 | 測量單元、控制器、操作電腦（筆記本型）、使用說明書（CD） | |||
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