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常壓等離子體設(shè)備主要有三類:電暈放電等離子體設(shè)備、微波等離子體設(shè)備、多瓦等離子體設(shè)備。
1、電暈放電等離子裝置
電暈放電等離子體裝置是一種基于使用高頻電源產(chǎn)生等離子體的裝置。通過在電極之間施加高頻電壓來釋放等離子體,并通過與反應(yīng)氣體的化學(xué)反應(yīng)來對表面進行改性和清潔。一般來說,它的特點是溫度低,對樹脂和薄膜等聚合物材料有效。
2、微波等離子體裝置
微波等離子體裝置是利用微波產(chǎn)生等離子體的裝置。通過注入反應(yīng)氣體并施加高頻電場,反應(yīng)氣體吸收微波并產(chǎn)生等離子體。它可以產(chǎn)生高溫等離子體,用于金屬、陶瓷等的高分辨率表面改性和薄膜形成。
3.Dova等離子裝置
Dova Plasma 裝置是一種帶有水平排列的針和板作為電極的裝置。板上有反應(yīng)氣體流過的小孔。通過在針和板之間施加高電壓,針尖處會產(chǎn)生電暈放電,從而產(chǎn)生等離子體。它可以產(chǎn)生低溫等離子體,可應(yīng)用于細胞和生物組織的處理。