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日本混合激光顯微鏡OPTELICS HYBRID+
Lasertec多功能高性能OPTELICS HYBRID+激光顯微鏡全面升級,追求真正實(shí)用性,能夠應(yīng)對多樣化測量場景。
▆ 共聚焦顯微鏡原理:
樣品表面的反射光通過遮光板上的細(xì)孔到達(dá)檢測器。點(diǎn)光源的照射光到達(dá)樣品并聚焦時,其反射光也正好在細(xì)孔處聚焦,因此稱為“共聚焦光學(xué)系統(tǒng)“。樣品表面的聚焦部位,其反射光經(jīng)細(xì)孔到達(dá)檢測器進(jìn)行檢測;未聚焦的反射光大部分被遮光板擋住,無法被檢出。這種僅聚焦部位的反射光被檢出的共聚焦光學(xué)系統(tǒng),為HYBRID+激光顯微鏡所采用。
OLED行業(yè)、晶振應(yīng)用、SAW濾波器、半導(dǎo)體激光、太陽能電池、液晶面板、透明晶圓檢查等。
日本混合激光顯微鏡OPTELICS HYBRID+
特點(diǎn):
▆ 提供6項(xiàng)職能以滿足各種需要:
1.白光共焦:白光共焦顯微鏡是利用共焦光學(xué)和白光的顯微鏡。HYBRID+ 可作為白光共焦顯微鏡進(jìn)行全色高清晰度觀測和高分辨率三維輪廓測量。
2.激光共焦:HYBRID+利用共焦光學(xué)和激光光源作為激光共焦顯微鏡。它使高放大率、高分辨率的觀測和測量與掃描電子顯微鏡的性能相當(dāng)。
3.差動干涉對比:共焦光學(xué)與差動干涉對比相結(jié)合,使得超細(xì)地形的高對比度實(shí)時可視化。
4.垂直掃描白光干涉測量:該功能利用干涉測量技術(shù)對地形進(jìn)行納米尺度測量,并對晶圓片和薄膜進(jìn)行廣域波動測量。它使用雙波束干涉物鏡,以便能夠在一毫米規(guī)模的大面積上對納米尺度的地形進(jìn)行高精度的剖面測量。
5.相移干涉測量:這個功能使用干涉測量來進(jìn)行角度尺度地形測量。
6.光譜反射計薄膜厚度測量:這個功能使用反射計來測量厚度小于1微米的透明薄膜的厚度。
▆ 滿足行業(yè)領(lǐng)現(xiàn)的規(guī)格并實(shí)現(xiàn)高精度:
HYBRID+ 實(shí)現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)現(xiàn)的性能激光顯微鏡的各種觀測和測量應(yīng)用。
1.高速測量:HYBRID+實(shí)現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)現(xiàn)的高速幀速率(15赫茲),在圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和高速移動圖像觀測方面帶來卓月的性能。
2.高精度測量:HYBRID+達(dá)到行業(yè)領(lǐng)現(xiàn)的測量精度和重復(fù)性。
▆ 提供各種測量、分析和支持功能,以提高可用性
LM眼,混合測試分析軟件 +,提供各種功能,協(xié)助你順利運(yùn)作。
▆ 自動操作以提高效率:
拉塞特克提供了很好的解決方案,以滿足您的測量需求,無論它是否需要一個標(biāo)準(zhǔn)的工具或定制您的生產(chǎn)過程。
如果您有需要,可以打電話咨詢我們,價格以實(shí)際為準(zhǔn),歡迎您的來電!?。?/span>
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