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| 應用領域 | 化工,地礦,能源,航天,電氣 |
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RGA 系列殘余氣體分析儀
SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細氣體分析，價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統(tǒng)都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數據采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。
堅固的探頭設計
探頭由離子發(fā)生器、四極濾質器和檢測器組成。簡單的設計具有少量零件，可*大限度地減少放氣并減少將雜質引入真空系統(tǒng)的機會。探頭組件堅固耐用，可安裝在標準2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋，但離子發(fā)生器除外，它在您的真空系統(tǒng)中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標準離子計的間隙。探頭采用自對準部件設計，因此可以在清潔后輕松重新組裝。
緊湊型電子控制單元
密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進行高溫烘烤。
*特的燈絲設計
長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長得多，從而*大限度地延長了燈絲更換之間的時間。與其他設計不同，SRS 燈絲可以在幾分鐘內由用戶更換。
電子倍增器
法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標準配置，可以測量10 -5到 5 × 10 -11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率，提供了一個可選的電子倍增器，可檢測低至5 × 10 -14 Torr的分壓。這種**的宏多通道連續(xù)打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長的壽命和穩(wěn)定性，并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的開創(chuàng)！
加熱套
O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結構制成，由于其低釋氣和無顆粒操作，適用于潔凈室應用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國家/地區(qū)的電源線。
有用的功能
所有 RGA 都具有內置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，*底清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。
固件驅動的燈絲保護功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過壓。如果檢測到過壓，燈絲會立即關閉，以保持其使用壽命。
*特的溫度補償對數靜電計在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流，精度優(yōu)于 2%。這個巨大的動態(tài)范圍意味著您可以同時測量小氣體濃度和大氣體濃度。
*全可編程性
通過RS-232接口與計算機進行通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測和探頭參數都通過上等命令集進行控制和監(jiān)控。這允許輕松集成到現有程序中。
RGA 視窗軟件
RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是*全交互式的，使用戶可以*全控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作，刻度可設置為線性或對數格式，數據可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數據，或計劃在給定的時間間隔內采集數據，以進行長期數據記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺警報以及全*的在線幫助。
該軟件還允許通過簡單的質量標度調整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設置和電子倍增器增益調整實現完整的 RGA 磁頭控制。為了進一步分析，可以將數據文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸到電子表格中。圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以直接導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設置。SRS 網站上還提供了 LabVIEW 驅動程序。
可選的獨立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。
多頭操作
當需要多個 RGA 時，該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監(jiān)控 8 個 ECU。
性能和價值
SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內置電源模塊。
RGA 系列規(guī)格 | |
操作 | |
| 質量范圍 | |
| RGA100 | 1 到 100 amu |
| RGA200 | 1 到 200 amu |
| RGA300 | 1 至 300 amu |
| 質量過濾器類型 | 四極桿 |
| 探測器類型 | 法拉第杯 - 標準。 電子倍增器 - 選擇。 |
| 解析度 | 優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據 AVS 標準 2.3）。在整個質量范圍內可調至恒定峰寬。 |
| 靈敏度 (A/Torr) | 2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。 用戶可在整個高壓范圍內調節(jié)。用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。 |
| 分鐘。可檢測分 壓 | 5 × 10 -11 托 (FC)。 5 × 10 -14 托 (EM)。 用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。 |
| 運營壓力 | 10 -4 Torr 到 UHV (FC) 10 -6 Torr 到 UHV (EM) |
| *大限度。工作溫度 | 70℃ |
| 烘烤溫度 | 300 °C（不帶 ECU） |
離子發(fā)生器 | |
| 設計 | 開放式離子源，圓柱對稱，電子碰撞電離。 |
| 材料 | SS304 結構 |
| 燈絲 | 具有固件保護的釷銥（雙）。內置 |
| 電子能量 | 25 至 105 V，可編程 |
| 離子能量 | 8 或 12 V，可編程 |
| 聚焦電壓 | 0 至 150 V，可編程 |
| 電子發(fā)射電流 | 0 至 3.5 mA，可編程 |
一般的 | |
| 探頭尺寸 | 8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部 |
| 探頭插入 | 2.0" |
| 探頭安裝法蘭 | 2.75" CF |
| *小管內徑 | 1.375" |
| ECU尺寸 | 9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL) 可輕松與探頭分離以進行烘烤。 |
| LED指示燈 | 電源開/關、燈絲開/關、脫氣開/關、電子倍增器開/關、 |
| 熱身時間 | 30 分鐘后質量穩(wěn)定性 ±0.1 amu |
| 電腦接口 | RS-232C，28,800 波特，帶上等命令集 |
| 軟件 | 基于 Windows 的應用程序 |
| 電力需求 | 24 VDC @ 2.5 安培。 可選的內置 VAC 適配器。 |
| 重量 | 6 磅 RGA 系列殘余氣體分析儀 。 |
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