德國Thyracont圖拉特VSL53D/54D真空表變送器Smartline

數(shù)字真空變送器VSL是專門為負載鎖定而開發(fā)的。金屬密封的真空測量設備采用了多傳感器技術，并將兩個壓電傳感器與一個皮拉尼傳感器結合在一起。因此，測量的壓力在1200…1e-4 mbar范圍內(nèi)，相對于環(huán)境的相對壓力在-1060…+340 mbar范圍內(nèi)。

概述用于負載鎖的VSL真空變送器：

集成的多傳感器系統(tǒng)：兩個壓電傳感器測量壓力和相對壓力，以監(jiān)視腔/閘的泵送和通風過程。Pirani傳感器的測量范圍高達10 mbar，可控制負載鎖和處理室之間的低壓傳遞，以實現(xiàn)的處理純度。

簡而言之：差壓輸出可精確觸發(fā)開門功能

精確：高精度，分辨率和出色的穩(wěn)定性

快速：響應時間短，高達40毫秒

穩(wěn)定的測量值：得益于優(yōu)化的溫度補償

與氣體類型無關：20 mbar以上的測量與氣體類型無關

繼電器開關點：兩個獨立的無電勢繼電器開關點

概述Smartline真空變送器：

大量的接口選擇：數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號，EtherCAT或Profinet。此外，藍牙適配器SLKBT支持無線通信

可更換的傳感器頭：帶有存儲的校準數(shù)據(jù)的可輕松更換的更換傳感器頭

調(diào)節(jié)簡單：只需按一下按鈕或通過界面即可調(diào)節(jié)零壓力和大氣壓

LED：用于狀態(tài)顯示和切換點

可擴展的輸出特性：0-10 V輸出信號可以根據(jù)所需的特性進行縮放。
因此，與制造商無關，可以輕松地進行現(xiàn)有真空規(guī)的更換，而無需進行編程工作。
如果要保留電纜但要更換變送器，則可以使用適配器（例如FCC68）。

適用于超高壓：由于采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于超高壓（氦氣泄漏率<5e-10 mbar l / s）

堅固：耐腐蝕，符合EMC標準的金屬外殼，防護等級高達IP54

控制器：可以通過2通道控制器VD12或4通道控制器VD14進行擴展

VacuGraphTM Windows軟件：用于可視化，分析和存儲測量數(shù)據(jù)