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什么是半導體制造中的切割?將晶圓上形成的集成電路切割成芯片的技術(shù)和工藝。說。
切割方法有通過使刀片(砂輪)高速旋轉(zhuǎn)來進行切割的“刀片切割法"、通過照射激光使晶片蒸發(fā)、升華的“激光燒蝕切割法"。切割方法有三種:隱形切割法,其中刀片切割法被認為是先進的。最常見的切割方法。
在此過程中,切割膠帶用于固定和保護芯片在切割過程中不會散落。是。
切割膠帶有兩種類型:UV型,在切割工藝后將膠帶與晶圓分離時照射紫外線;非UV型,不照射紫外線。 UV型切割膠帶具有高粘合強度,可以穩(wěn)定地固定晶圓,但紫外線照射會導致其硬化并降低其粘合強度,從而更容易將晶圓與膠帶分離。
由于其有利于后處理加工,因此被廣泛應用于切割工藝。