產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
綜合 |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
使用流體 | CO2 |
使用壓力 | 14MPa |
使用溫度 | 40℃ |
腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
安全功能 | 電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過(guò)熱保護(hù) |
控制面板 | 采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
外形尺寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺(tái)式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會(huì)產(chǎn)生毛細(xì)管力?表面張力的超臨界流體,可使超微細(xì)構(gòu)件得到清洗?干燥且不會(huì)造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA(異丙醇)干燥都會(huì)受損的、具有超微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細(xì)結(jié)構(gòu)的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級(jí)極細(xì)空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規(guī)格
使用流體 | CO2 |
使用壓力 | 14MPa |
使用溫度 | 40℃ |
腔室 | 內(nèi)徑φ110×26mm |
安全功能 | 電氣安全裝置、機(jī)械安全裝置、防過(guò)熱保護(hù) |
控制面板 | 采用觸摸屏進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)程序設(shè)定 |
外形尺寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(含手柄) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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