產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,能源,電子,綜合 |
日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái)MVXA05A-R102
1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái)MVXA05A-R102
注釋/特點(diǎn)
1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
機(jī)械規(guī)格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指導(dǎo)方法 精密交叉滾子導(dǎo)軌
移動(dòng)范圍 ±7.5毫米
飼養(yǎng)方法 接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步(1/20 格) 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒:半5kpps
累計(jì)導(dǎo)程誤差 ≤6μm/15mm
重復(fù)定位精度 ≤±0.5μm
失去運(yùn)動(dòng) ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反彈 ≤1μm
力矩剛度 0.31 弧秒/N?cm
水平承載能力 49N(5公斤力)
材質(zhì) 鋁合金
自重 0.66公斤
日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái)MVXA05A-R102
注釋/特點(diǎn)
1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。
機(jī)械規(guī)格
模型 MVXA05A-R102
桌面 50毫米×50毫米
指導(dǎo)方法 精密交叉滾子導(dǎo)軌
移動(dòng)范圍 ±7.5毫米
飼養(yǎng)方法 接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm
分辨率全/半 1μm/0.5μm
分辨率 微步(1/20 格) 0.05μm
最大速度 2.5毫米/秒:半5kpps
累計(jì)導(dǎo)程誤差 ≤6μm/15mm
重復(fù)定位精度 ≤±0.5μm
失去運(yùn)動(dòng) ≤1μm
水平真直度 ≤1μm/15mm
垂直真直度 ≤1μm/15mm
反彈 ≤1μm
力矩剛度 0.31 弧秒/N?cm
水平承載能力 49N(5公斤力)
材質(zhì) 鋁合金
自重 0.66公斤
![](https://img56.chem17.com/a389d7f26eecdf06da30fdb2e97794e30e6a0d76bd0b9c0ef84e232281ff7373c9ee092746c3b4a5.png)
![](https://img56.chem17.com/a389d7f26eecdf06da30fdb2e97794e38cf42b2a8a07579c13a1e7e8c62aa14b09fd38aebca9ac08.png)
![](https://img56.chem17.com/a389d7f26eecdf06da30fdb2e97794e36bfa5c3f1e3a6d7516b636249714680980df9794d2ce88e3.png)