satgroup濕臺分部介紹

時間：2024/5/17閱讀：434

在半導(dǎo)體制造過程中，某些步驟需要使用強酸和易燃溶劑等化學(xué)品。這些化學(xué)品用于復(fù)雜的過程中，可能會對操作員和設(shè)施造成潛在的傷害。

因此，濕式工作臺是半導(dǎo)體制造工藝的選擇。在 SAT 集團，我們的工程團隊在半導(dǎo)體行業(yè)擁有豐富的知識，并且在根據(jù)當前行業(yè)和 SEMI 標準設(shè)計和開發(fā)濕臺系統(tǒng)方面擁有三十多年的經(jīng)驗。

參考SEMI標準

SEMI E6 — 設(shè)施接口規(guī)范指南和格式

SEMI F5 — 廢氣處理指南

SEMI F14 — 氣源設(shè)備外殼設(shè)計指南

SEMI F15 — 使用六氟化硫示蹤劑氣體和氣相色譜法的外殼測試方法

SEMI S1 — 氣相色譜法的安全指南設(shè)備安全標簽

SEMI S3 — 加熱化學(xué)浴安全指南

SEMI S6 — 通風(fēng)安全指南

SEMI S7 — 半導(dǎo)體制造設(shè)備環(huán)境、安全和健康 (ESH) 評估安全指南

SEMI S8 — 半導(dǎo)體制造設(shè)備人體工程學(xué)安全指南

SEMI S9 — 半導(dǎo)體制造設(shè)備電氣設(shè)計驗證測試安全指南

SEMI S10 — 風(fēng)險評估安全指南

SEMI S12 — 設(shè)備凈化指南

SEMI S13 — 半導(dǎo)體制造設(shè)備使用的操作和維護手冊安全指南。

SEMI S14 — 半導(dǎo)體制造設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險評估和緩解安全指南

濕長凳是使用SAT Clean System ® 和 SAT Folding System ® 建造的， SAT Clean System ®是一種切割系統(tǒng)，可以獲得無瑕疵的表面，而 SAT Folding System ® 則包括在規(guī)劃階段消除用熱穿孔系統(tǒng)編織的部件。無顆粒污染意味著更大的晶圓產(chǎn)量。

在半導(dǎo)體設(shè)備中，火災(zāi)是破壞性的威脅之一，因為燃燒的塑料材料會散發(fā)出有毒煙霧，同時污染清潔區(qū)域。因此，SAT 集團的濕長凳可以使用經(jīng)過“FM"（工廠互助）認證的結(jié)構(gòu)材料建造，結(jié)合人體工程學(xué)設(shè)計，可大大降低意外火災(zāi)的風(fēng)險。

對于 SAT 集團來說，濕式工作臺需要一項策略，其中包括：專業(yè)知識、正確的設(shè)計、指南和適合安全記錄結(jié)果的材料，以保證為客戶提供高質(zhì)量和可靠的設(shè)備。

我們的濕法工作臺和濕法工藝系統(tǒng)包括全自動、半自動和手動選項，并可選擇線性和旋轉(zhuǎn)機器人。它們適用于所有類型的潔凈室，還可以將層流氣流與 HEPA 過濾器結(jié)合起來。我們的濕法工藝系統(tǒng)、濕站和濕法工作臺系統(tǒng)設(shè)計用于：

半導(dǎo)體、MEMS、LED濕法加工-半導(dǎo)體加工設(shè)備

硅片清洗

氫氧化鉀蝕刻

砷化鎵晶圓清洗

MEMS 晶圓清洗

太陽能晶圓清洗

多晶硅塊、棒和硅錠清洗

醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)零件清潔

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