五月婷网站,av先锋丝袜天堂,看全色黄大色大片免费久久怂,中国人免费观看的视频在线,亚洲国产日本,毛片96视频免费观看

深圳九州工業(yè)品有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

15766191432

orc半導(dǎo)體用露光裝置PPS-8200/8300的用途和特長(zhǎng)是什么

時(shí)間:2023/8/21閱讀:466
分享:

用途:

支持多種應(yīng)用程序


支持WL-CSP、IGBT、CIS等的光刻6/8/12英寸。

特長(zhǎng):

  1. 寬帶曝光(與配方聯(lián)動(dòng)的自動(dòng)切換ghi線gh線,i線)。

  2. 搭載可變NA功能(0.16和0.1的可變)。

  3. 最多8個(gè)字段的條形圖設(shè)計(jì)格式。

  4. 由抗蝕氣體和周邊環(huán)境化學(xué)保護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)。

    規(guī)格:


    型式PPS-8200/8300
    ウェーハサイズ6/8/12インチ
    解像力2.0 µmL/S(2.0 µm レジスト厚)
    NA(開口數(shù))0.16、0.1可変
    縮小比1:1
    Fieldサイズ52mm × 33mm
    露光波長(zhǎng)ghi-Line gh-line i-line(レシピ連動(dòng))
    レチクルサイズ6inch
    重ね合せ精度≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
    裝置サイズ/重量(W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg
    主要オプションバックサイドアライメントシステム
    ウェーハ周辺露光システム
    ウェーハ周辺非露光システム
    薄ウェーハ搬送システム
    GEM通信対応
    インライン対応


會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話
在線留言