1、目 的
本試驗(yàn)測(cè)試潔凈臺(tái)在正常運(yùn)轉(zhuǎn)下是否能達(dá)到潔凈度的要求。
2、儀器
塵埃粒子計(jì)數(shù)器(粒徑分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采樣速度為2.83L/min。
3、方法
潔凈度的檢測(cè)方法按以下步驟進(jìn)行:
a) 將潔凈臺(tái)的氣流流速設(shè)置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的zuidi值,并將玻璃窗開啟到生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高 值,雙面操作的潔凈臺(tái)應(yīng)將兩面的玻璃窗都開啟到生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值,無玻璃窗操作口的潔凈臺(tái)可直接檢測(cè);
b) 生產(chǎn)廠商在工作臺(tái)面向上200mm,測(cè)試區(qū)域邊界與潔凈臺(tái)的內(nèi)壁及操作口的距離應(yīng)為100mm;
c) 除在測(cè)試區(qū)域四個(gè)角布置采樣點(diǎn)外,還需在測(cè)試區(qū)域內(nèi)沿中心線平均布點(diǎn),測(cè)試區(qū)域內(nèi)的采樣 點(diǎn)數(shù)目不得少于5個(gè);
d) 每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)不得少于3次,每次采樣量應(yīng)不小于5.66 L;
e) 粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)正對(duì)氣流方向。
潔凈臺(tái)工作區(qū)≥0.5μm塵埃粒子數(shù)應(yīng)≤3520個(gè)/m3,≥5μm塵埃粒子數(shù)應(yīng)≤29個(gè) 注:即潔凈ISO等級(jí)5(100級(jí))。