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深圳市矢量科學儀器有限公司

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NLD-5700-干法刻蝕裝置
  • NLD-5700-干法刻蝕裝置

貨物所在地：國外

更新時間：2024-08-02 14:51:59

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對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700

對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700是搭載了磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的量產(chǎn)用干法刻蝕裝置。（可實現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子）

對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700

對應光學器件、MEMS制造的干法刻蝕裝置NLD-5700是搭載了磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的量產(chǎn)用干法刻蝕裝置。（可實現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子）

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • •      在潔凈房內(nèi)作業(yè)可擴張為雙腔。（可選配腔室：NLD、有磁場ICP、CCP或者去膠室）

    •NLD為時間空間可控的等離子，因此設備干法清潔容易。
    •腔體維護簡便。
    •從掩?？涛g到石英、玻璃刻蝕，可提供各類工藝解決方案。
    •門的半導體技術研究所會提供完備的工藝支持體制。

  • 產(chǎn)品應用 / Product application

  • •光學器件（折射格子、光波導、光學開關等等）、凹凸型微透鏡。
    •流體路徑作成或光子學結晶。

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters


1、公司介紹
深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務技術服務于一體的國家高新技術企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。
公司主要業(yè)務如下:
裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。
設備服務:駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持。
廠務服務:駐場或者 oncall，人力服務及廠務二次配工程。
經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。
2、成長歷程
•2020年（公司成立年）
•2300萬訂單額
2021年 7000萬訂單額
2022年 2.5億訂單額
2023年3.2億訂單額




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