1.產(chǎn)品概述：

Laurell的H6-8型的勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊，具有優(yōu)良的功能，設(shè)計為容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款 650 系列 HL 涂布機系統(tǒng) 將 可容納大 200mm 晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 （178mm×178mm）基板， 大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM （基于100mm硅片）。

2.設(shè)備原理：

利用電機高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產(chǎn)品特色：

所有HL 系列系統(tǒng)都包括一個無線平板電腦，該平板電腦具有Laurell Touch 過程控制軟件。

通過使用其隨附的PC 軟件Spin 3000，它在流程定義和使用方面都實現(xiàn)了高的靈活性。該無線控制器允許操作員在實驗室的任何地方進行實時交互，包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

這些過程在控制水平下運行，我們提供的復(fù)雜性。HL 系列控制器也可以與帶有 Spin 3000 的 PC 結(jié)合使用， Laurell 的流程管理軟件。但是，這不是編程或運行設(shè)備所必需的。

使用 PC 增加了在運行過程、遠程操作、編程或通過 LAN 或 Internet 進行通信時記錄過程的能力。該軟件免費提供，允許操作員在實際安裝的自旋處理器硬件之外創(chuàng)建虛擬過程模擬，實際上，讓他們在進入過程之可以嘗試一下。所有HL系列系統(tǒng)都可以在不返回工廠的情況下通過簡單的插件模塊進行升或重新利用，無論是實際的還是虛擬的，并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。