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深圳市矢量科學儀器有限公司

掩模對準光刻機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號MA200 Gen3

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間：2024-08-27 09:37:26瀏覽次數(shù)：328次

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MA200 3代掩模對準光刻機專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計，適用于200毫米以下晶圓和方形襯底的自動化加工。本系統(tǒng)集全場光刻技術(shù)與多種創(chuàng)新功能于一身。使其成為眾多應用的優(yōu)秀系統(tǒng)，例如生產(chǎn)厚膠工藝MEMS、有凹凸圖形的 3D 結(jié)構(gòu)以及先進封裝應用，如3D封裝、扇出封裝、凸點封裝及化合物半導體和圖像傳感器。

MA200 3代提供適應眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案。多樣化的對準方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設(shè)備。

高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細節(jié)方面，例如選擇自動更換濾光片，以便維持低運營成本。

MA200 3 代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作，即使是在高負荷工作時。

憑借其廣泛的附加選項，第 3 代 MA200 很容易就能達到特種光刻工藝的要求。


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