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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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紫外線臭氧清洗設(shè)備

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號UV-300HC

品牌SAMCO

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時(shí)間:2024-09-04 16:01:44瀏覽次數(shù):305次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
UV-300HC紫外線臭氧清洗設(shè)備是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機(jī),用于生產(chǎn)。這個(gè)行業(yè)先的系統(tǒng)有2個(gè)裝載盒,可以達(dá)到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

1. 產(chǎn)品概述

UV-300HC是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機(jī),用于生產(chǎn)。這個(gè)行業(yè)先的系統(tǒng)有2個(gè)裝載盒,可以達(dá)到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的組合,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

2. 設(shè)備用途/原理

大加工尺寸為?240 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1)200 - 300 nm/min的高灰化率。加熱階段加快了清洗速度,實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。通過調(diào)整平臺和石英擴(kuò)散板之間的間隙,可以提高基板的均勻性。緊湊,使用小的潔凈室空間簡單,在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。柔軟、干燥的工藝不會(huì)對基材造成電損傷。內(nèi)置臭氧催化劑裝置,可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

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