概要
UV-1是一款緊湊型臺(tái)式紫外線臭氧清洗機(jī)。該系統(tǒng)將紫外線照射、臭氧和平臺(tái)加熱結(jié)合在一起，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、GaAs、InP、SiC）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。
主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
· 最大加工尺寸為?100 mm（4英寸）。
· 加熱階段加快了清洗速度，實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。
· 緊湊，使用最小的臺(tái)式空間
· 簡(jiǎn)單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。
· 柔軟、干燥的工藝不會(huì)對(duì)基材造成電損傷。
· 蓋子聯(lián)鎖保證了當(dāng)蓋子打開時(shí)，系統(tǒng)無法運(yùn)行。
· 臭氧催化劑裝置，用于將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。
· 安全性能自動(dòng)N?凈化循環(huán)、加熱級(jí)保險(xiǎn)絲保護(hù)、臭氧洗滌器和緊急停止開關(guān)。
應(yīng)用
· 塑料包裝和引線框架的表面清潔。
· 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。
· 表面改性（潤(rùn)濕性和附著力的改善
· 表面氧化(薄氧化層沉積)
· 光阻劑的灰化、剝離和除塵。
· 清除有機(jī)污染物
· 紫外線固化
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