1. 產(chǎn)品概述
AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。
2. 設(shè)備用途/原理
AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,4 組加熱器獨立控制,靈活的溫場調(diào)節(jié)機能力。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能,溫場更均勻,下裝載,上維護,操作便捷。
3. 設(shè)備特點
晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 電阻加熱,適用材料 碳化硅,適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一,具有禁帶寬度大、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性,在智能電網(wǎng)、電力牽引、電動汽車、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢。