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深圳市矢量科學儀器有限公司

電阻式碳化硅長晶爐

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號AGF系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2024-09-05 10:27:53瀏覽次數(shù):315次

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AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

1. 產(chǎn)品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐,適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設(shè)備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐適用于 6、8 英寸,導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長,4 組加熱器獨立控制,靈活的溫場調(diào)節(jié)機能力。坩堝系統(tǒng)具備升降、旋轉(zhuǎn)功能,溫場更均勻下裝載,上維護,操作便捷。

3. 設(shè)備特點

晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 電阻加熱,適用材料 碳化硅適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導(dǎo)體材料之一,具有禁帶寬度大、高熱導(dǎo)率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性,在智能電網(wǎng)、電力牽引、電動汽車、微波射頻等領(lǐng)域具有優(yōu)勢。


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