一、產(chǎn)品概述：
SL-1023化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于 CMP 平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿(mǎn)足晶圓等面型加工的需求。
二、設(shè)備特點(diǎn)：
·超平不銹鋼拋光盤(pán)（平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。
·超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤(pán)端跳小于 0.01mm）。 ·設(shè)有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。
·配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。 ·配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調(diào)整， 自動(dòng)研磨和拋光。
·配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。
三、主要技術(shù)指標(biāo)：
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ , 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來(lái)水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無(wú) 4、工作臺(tái)：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重 200kg 以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | ||
主要參數(shù) | 主機(jī)部分 | GPC-100A 精密磨拋控制儀 | 自動(dòng)滴料器 |
1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤(pán)轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4、磨拋工位:2 個(gè) 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15 檔 6、托盤(pán)端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤(pán): φ300mm 8、載樣盤(pán) : φ 105mm 9、修盤(pán)環(huán) : φ 127.5mm
| 1、載樣盤(pán)直徑：?103mm 2、載樣盤(pán)軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4、載樣盤(pán)可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程： 1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸： 直徑≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑 146mm，高 266mm
| SKZD-2 滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4 自動(dòng)滴料器 1、加液泵：4 個(gè) 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計(jì)時(shí)范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg
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產(chǎn)品規(guī)格： ·尺寸：550mm×700mm×420mm ·重量：74Kg
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