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伴隨著制造產(chǎn)業(yè)如:液晶面板、太陽能光伏、鋰電新能源、激光、貼裝、半導(dǎo)體、醫(yī)療制造、精密噴繪、精密檢測、點膠等行業(yè)的興起或進階,帶來了龐大的精密自動化設(shè)備需求;為匹配制造業(yè)相應(yīng)技術(shù)要求,自動化設(shè)備的制造及標定技術(shù)標準也在不斷提升;這其中,無論是在生產(chǎn)制造過程中的測量檢測、還是在設(shè)備服役期間的校準標定,都是重中之重的環(huán)節(jié),為自動化設(shè)備的穩(wěn)定運行提供最堅實的保障。
除了安裝過程中需要嚴格控制直線度、垂直度、平行度以外,安裝完畢后,直線電機運動的線性誤差(定位精度、重復(fù)性)、小角度(偏擺角、俯仰角、滾動角)等數(shù)據(jù)也需要得到充分關(guān)注。而使用傳統(tǒng)檢測手段實施這些誤差參數(shù)的檢測,往往耗時耗力、且精準度和客觀性難以得到最佳保障。
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