VPG+800 / VPG+1100 / VPG+1400
大尺寸超高速圖形發(fā)生器
The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光學(xué)系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術(shù)制版系統(tǒng)

VPG +大尺寸曝光系統(tǒng)適合用于封裝，半導(dǎo)體，顯示器，彩色濾光片，LED和觸摸屏等相關(guān)掩膜版制作的應(yīng)用。

VPG +系統(tǒng)支持所有工業(yè)等級(jí)數(shù)據(jù)化格式，并提供Mura優(yōu)化功能，呈現(xiàn)的CD均勻性和分辨率。

VPG + 1400是我們大的系統(tǒng)，特別針對(duì)顯示器領(lǐng)域和FPD的應(yīng)用，例如TFT數(shù)組和彩色濾光片以及ITO。

VPG + 1400具有高精度的設(shè)備架構(gòu)，分辨率低至1.2 nm的差分干涉儀及的Mura校正功能。