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一、用途
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡U1510
二、技術(shù)規(guī)格
上海彼愛姆掃描電子顯微鏡U1510
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
二次電子分辨率 | 3.0nm(高真空,30kV) |
背散射電子分辨率 | 4.0nm(低真空:6Pa,30kV) |
倍率 | 5~300,000X |
加速電圧 | 0.3~30 kV |
樣品臺(tái) | X 0~80 mm |
Y 0~40 mm; | |
Z 5~50 mm; | |
T -20°~ 90°; | |
R 360° | |
樣品臺(tái)控制 | 手動(dòng)(可選:2軸馬達(dá)) |
*大載入樣品尺寸 | 直徑:153 mm |
*大觀察范圍 | 直徑:126 mm(XYR并用) |
*大樣品高度 | 60 mm(WD=15 mm) |
低真空范圍 | 6-270Pa(從菜單設(shè)定) |
燈絲 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 |
檢測(cè)器 | 二次電子檢測(cè)器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
真空系統(tǒng) | 分子泵1臺(tái),機(jī)械泵1臺(tái) |
安全措施 | 停電,漏電,自動(dòng)保護(hù) |