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探針臺的選型
閱讀：1194 發(fā)布時間：2023-2-2
通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：
1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件？
2、 探針臺機械精度要求多高？
3、 點測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的mini pad，還是ic內部的metal？
4、 最多需要幾根探針同時去點測？
5、 是否會用到探針卡？
6、 光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
7、 顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？
8、 探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下？低電容的要求是否要做到0.1pf？是否有射頻的需求？
9、 接駁的測試儀器接口有哪些？
10、測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？
11、對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
12、是否需要防震桌？
13、若添置防震桌，是否有壓縮空氣？