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產(chǎn)品型號(hào)

  500W直流濺射電源DC-500-LD

技術(shù)參數(shù)

  1、輸入電壓：AC 220V        

  2、zui大輸出功率：500W

  3、zui大輸出電壓：DC 600V

  4、電壓分辨率：DC 1.0V

  5、zui大輸出電流：DC 0.8A

  6、電流分辨率：1mA

  7、控制精度：±1%

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸：440mm×160mm×440mm

可選配件

  1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。

  2、同時(shí)購(gòu)買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí)，本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射

　　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。

  3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。