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產品型號

    GSL-1100X-SPC-12H加熱型等離子薄膜濺射儀

主要特點

    1、配有2L/s雙旋片機械泵，出氣口裝有立式油霧過濾器，過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵的損耗，保護

　　 環(huán)境和人體健康。

    2、已經過CE認證。

技術參數(shù)

    1、輸入電源：208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

    2、石英腔體：Φ100mm×130mm  

    3、樣品臺：Φ60mm，高度可調節(jié)，可加熱到600℃

    4、溫控器：30段可編程溫度控制器，控溫精度±1℃

    5、升溫速率：15℃/min（推薦）

    6、靶材：純度為4N的金靶，Φ57mm×0.12mm

    7、進氣口：裝有不銹鋼針閥，可通入氬氣，能實現(xiàn)更好的等離子涂層

產品規(guī)格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

標準配件

   1、金靶

   2、真空泵

   3、不銹鋼波紋管

   4、快速卸裝卡箍

可選配件

   Au、Pt、Ag靶