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PCE-3等離子清洗機(jī)
  • PCE-3等離子清洗機(jī)

貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時(shí)間:2024-10-18 14:34:06

瀏覽次數(shù):249

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PCE-3等離子清洗機(jī)使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染,在射頻電源的作用下,Z大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長具有顯著的作用。

產(chǎn)品型號(hào)

   PCE-3等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

   1、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。

   2桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。

技術(shù)參數(shù)

   1、輸入電壓:110V/220V50Hz/60Hz (請(qǐng)?zhí)崆斑x定),小于100W

   2、輸出功率:13.56MHz

   3、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V,10mA,6.8W;中功率設(shè)定—700V,15mA,10.5W;

                                  高功率設(shè)定—720V,25mA,18W

   4、等離子腔室:Φ75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸

   5通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

   6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制

                                           氣體流量,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

 

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵)

注意事項(xiàng)

 不能使用可燃性氣體

可選配件

 本司研發(fā)的電阻真空計(jì)

 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器,特別適應(yīng)于

    從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測(cè)量。

 


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