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產(chǎn)品型號(hào)

  SKJ-50晶體生長(zhǎng)爐

主要特點(diǎn)

  1、與同類相比屬于小型晶體生長(zhǎng)爐，適合于大專院校、研究所使用。

  2、電子稱在生長(zhǎng)過程中可自動(dòng)控制晶體的直徑。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：三相380V  25KW

  2、感應(yīng)射頻：功率25KW，射頻0.2-20KHz

  3、真空腔體：Φ500mm×700mm

  4、真空度：10^-3torr（機(jī)械泵），10^-5torr（擴(kuò)散泵泵）

  5、zui大提拉行程：500mm

  6、提拉速度：0.1-20mm/h

  7、籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：0-40rpm

  8、zui大可熔融溫度：2100℃

  9、控溫精度：<±0.2℃

  10、冷卻水：所需水壓0.13-0.18MPa，所需流量60L/min

  11、移動(dòng)速度：1mm/h-10mm/h可調(diào)

  12、快速移動(dòng)：手動(dòng)

  13、結(jié)晶轉(zhuǎn)速：1-50rpm

  14、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵和擴(kuò)散泵

  15、極限真空度：10^-5torr

產(chǎn)品規(guī)格

  1、爐體：880mm×1250mm×2850mm

  2、控制柜：680mm×540mm×1700mm

  3、中頻柜：1100mm×500mm×1500mm

  4、總重：1500kg