ｃ、預(yù)減薄 使用沈陽(yáng)科晶設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)的UNIPOL-300小型精密研磨拋光機(jī)，可將薄圓片磨至20-30μｍ厚．用研磨機(jī)磨（或使用砂紙），可磨至幾十μｍ，使用凹坑減薄儀可將薄圓片磨至１０μｍ厚．
?。洹⒔K減薄 對(duì)于導(dǎo)電的樣品如金屬，采用電解拋光減薄，這方法速度快，沒(méi)有機(jī)械損傷，但可能改變樣品表面的電子狀態(tài)，使用的化學(xué)試劑可能對(duì)身體有害．
對(duì)非導(dǎo)電的樣品如陶瓷，采用離子減薄，用離子轟擊樣品表面，使樣品材料濺射出來(lái)，以達(dá)到減薄的目的．離子減薄要調(diào)整電壓，角度，選用適合的參數(shù)，選得好，減薄速度快．離子減薄會(huì)產(chǎn)生熱，使樣品溫度升至１００～３００度，故用液氮冷卻樣品．樣品冷卻對(duì)不耐高溫的材料是非常重要的，否則材料會(huì)發(fā)生相變，樣品冷卻還可以減少污染和表面損傷．離子減薄是一種普適的減薄方法，可用于陶瓷，復(fù)合物，半導(dǎo)體，合金，界面樣品，甚至纖維和粉末樣品也可以離子減?。ò阉麄冇脴?shù)脂拌合后，裝入φ３ｍｍ金屬管，切片后，再離子減?。部梢跃奂x子術(shù)（ＦＩＢ）對(duì)區(qū)域做離子減薄，但ＦＩＢ很貴．
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