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恒歌在線式氣體專用過濾器
  • 恒歌在線式氣體專用過濾器

貨物所在地:廣東深圳市

地: 深圳

更新時間:2024-11-13 17:04:47

瀏覽次數(shù):18

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OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。


用于半導體應用在線式氣體專用過濾器

產(chǎn)品介紹

OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計,過濾精度高達0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強度高,與多種半導體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產(chǎn)品特點

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計

恒歌在線式氣體專用過濾器















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