概述
痕量級雜質(zhì)氣體比如烴類、H2O、CO、CO2、NOx、N2O、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體以及烯烴類氣體的生產(chǎn)帶來危害，損壞設(shè)備和影響生產(chǎn)質(zhì)量，甚至對使用這些氣體的設(shè)備帶來致命威脅。便攜式痕量空氣監(jiān)測系統(tǒng)專門專業(yè)監(jiān)測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質(zhì)氣體。
原理
便攜式痕量空氣監(jiān)測系統(tǒng)基于紅外光聲光譜技術(shù)，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學(xué)濾波片，形成中紅外區(qū)10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度擁有差分懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)，可通過10種光學(xué)窄帶濾波片實現(xiàn)，極窄的光學(xué)濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區(qū)域可有利于最小的交叉靈敏度。
光聲光譜技術(shù)可實現(xiàn)短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了非線性補償技術(shù)，可實現(xiàn)寬量程可達5級的線性動態(tài)量程比。
優(yōu)點
?帶有增強懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)的紅外光聲光譜技術(shù)
?電子脈沖紅外光源
?鍍金采樣氣室恒定溫度50℃
?超靈敏的基于MEMS差分懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng)，耦合激光干涉測量懸臂梁微觀移動
?內(nèi)置帶有5.7"前置顯示器的嵌入式計算機可設(shè)置氣體報警閾值
?數(shù)據(jù)存儲約2GB，連續(xù)存儲9種氣體可達1年
?測量結(jié)果可以通過U盤，USB口，Ethernet網(wǎng)口，串口導(dǎo)出
?后面板有四路氣體連接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器
?自動補償溫度、壓力等變化工況的干擾
?自動去除包括水汽、顆粒物等采樣氣體的干擾
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