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產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)：

曝光面積：100mm×100mm

分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm

大膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；

照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：

創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制；采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)高對(duì)準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。