目錄:北京儀光科技有限公司>>臺式電鏡&臺階儀&原位分析>>澤攸TEM原位解決方案>> PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅(qū)動下，達到超過5 mm的準確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準確對準力探針。
力探針同樣由壓電驅(qū)動，在軸向達到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配，達到很好的測量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。
PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統(tǒng)基本技術(shù)參數(shù)表
部分國內(nèi)用戶
部分國外用戶
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