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Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)

光譜反射能快速、精確、無損地測(cè)量薄膜，且無需制備任何樣本。

背景

薄膜

透明層沉積在表面上時(shí)，其反射率會(huì)變化。該系統(tǒng)獲取可見范圍內(nèi)樣本的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較，對(duì)層厚進(jìn)行修改，直到找到匹配的厚度。對(duì)于薄膜，厚度與光波長(zhǎng)類似，我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應(yīng)。

主要特征

從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時(shí)間內(nèi)測(cè)得

   從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

   不到 5 秒內(nèi)采集

   一個(gè)物鏡可覆蓋 整個(gè) 范圍

   不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

光譜反射系統(tǒng)