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上海跡亞國(guó)際商貿(mào)有限公司>>商機(jī)中心>>供應(yīng)列表>>Nanonex Lumina-200納米壓印
[供應(yīng)]Nanonex Lumina-200納米壓印
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  • Nanonex Lumina-200納米壓印
貨物所在地：
上海上海市
更新時(shí)間：
2022-01-27 15:15:38
有效期：
2022年1月27日 -- 2023年1月27日
已獲點(diǎn)擊：
190
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Nanonex Lumina-200納米壓印為電子，光電，MEMS和許多其他應(yīng)用中的高分辨率，對(duì)準(zhǔn)，接觸和接近光刻提供了高質(zhì)量，可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。

詳細(xì)介紹

Nanonex Lumina-200納米壓印獨(dú)立式高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器。 Lumina系列為電子，光電，MEMS和許多其他應(yīng)用中的高分辨率，對(duì)準(zhǔn)，接觸和接近光刻提供了高質(zhì)量，可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。 它具有易于使用的界面，高精度的載物臺(tái)，高性能的光學(xué)元件和較小的占地面積。

Nanonex Lumina-200納米壓印主要特點(diǎn)

高分辨率光刻

高精度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)

*的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)

間隙控制

用戶友好的PC控制

占地面積小

具有成本效益的設(shè)計(jì)

背面對(duì)齊可選

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件 *微機(jī)電系統(tǒng) *光電子學(xué) *高級(jí)包裝 *電力設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

手冊(cè)X-Y-?

帶稱重傳感器的電動(dòng)Z

移動(dòng)范圍： X和Y：1英寸

?：10度

Z：0.25英寸

掩膜加載能力

5”口罩標(biāo)準(zhǔn)

其他尺寸可選

基板裝載能力

4”標(biāo)準(zhǔn)

其他尺寸可選

對(duì)準(zhǔn) 模式：接近、柔和、硬

對(duì)準(zhǔn)光學(xué)

分割欄 5倍物鏡，1到7倍變焦

2個(gè)獨(dú)立的手動(dòng)X，Y，Z顯微鏡移動(dòng) 精細(xì)粗調(diào)

通過CCD相機(jī)成像

曝光系統(tǒng)

紫外線：汞燈，帶有可選的G線或I線過濾器

紫外線燈功率：500瓦

紫外線均勻照射

電動(dòng)紫外線燈移動(dòng)

具有Microsoft Windows的基于PC的控制計(jì)算機(jī)

用戶友好的控制軟件 PC控制的CCD視頻

紫外線燈曝光由電腦控制

占地面積：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）

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