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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SPS 光刻機(jī)非常適合微電子，2D材料，微流體，光電，opty或任何其他2D微加工應(yīng)用的技術(shù)
詳細(xì)介紹
SPS 光刻機(jī)主要特點(diǎn)：
1、寫入分辨率低至2 μm
2、可調(diào)整的寫作領(lǐng)域和具有可互換目標(biāo)的解決方案
3、與CAD文件或位圖圖像兼容
4、與g線光刻膠兼容
5、兼容多種基材（硅，玻璃，金屬，塑料等）
6、兼容任何樣品尺寸達(dá)4英寸的晶片
7、相機(jī)反饋以進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)步驟
8、由于沒有硬掩模，節(jié)省了時(shí)間和金錢
9、將設(shè)計(jì)直接覆蓋在樣品上的直觀對(duì)齊方法
10、占地面積小的桌面
11、非常適合微電子，2D材料，微流體，光電，opty或任何其他2D微加工應(yīng)用的技術(shù)
SPS 光刻機(jī)技術(shù)參數(shù)
1、光源曝光：435 nm； 對(duì)準(zhǔn)：525 nm
2、小特征尺寸：2至23 μm可調(diào)
3、對(duì)準(zhǔn)分辨率：低至1 μm / cm2
4、大曝光面積：75 x75 mm2
5、基板尺寸：大4”晶圓
6、系統(tǒng)尺寸：W：（36厘米）； D：（36厘米）; 高：（60厘米）
7、多合一PC：Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint軟件：機(jī)器控制，步進(jìn)重復(fù)，自動(dòng)劑量測(cè)試，縫合，對(duì)齊
9、SFTconverter：將標(biāo)準(zhǔn)格式（gdsii，dxf，cif，oas）轉(zhuǎn)換為位圖圖像。 隨附的CAD軟件