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敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
高質(zhì)量的光柵和掃描方式是直線光柵尺高精度和可靠工作的保證。海德漢敞開式直線光柵尺采用單場(chǎng)掃描原理，由單一的大型掃描場(chǎng)生成掃描信號(hào)。測(cè)量基準(zhǔn)上的的局部污染（例如安裝過程中的手指印或?qū)к壍挠偷挝廴荆┲挥绊懶盘?hào)分量光強(qiáng)，因此等量地影響掃描信號(hào)。盡管這樣的污染造成輸出信號(hào)改變，但其偏移和相位不受影響。這些信號(hào)可高倍頻地細(xì)分，單信號(hào)周期內(nèi)的位置誤差極小
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
測(cè)量精度
直線測(cè)量精度主要取決于
• 光柵質(zhì)量，
• 光柵基體質(zhì)量，
• 掃描質(zhì)量，
• 信號(hào)處理電子電路質(zhì)量和
• 光柵尺在機(jī)床內(nèi)的安裝情況。
可將這些因素細(xì)分為特定編碼器的位置誤 差和應(yīng)用相關(guān)的因素。為評(píng)估可獲得的系 統(tǒng)精度，必須綜合考慮各項(xiàng)因素中每一 項(xiàng)。
特定光柵尺位置誤差
特定光柵尺位置誤差包括
• 測(cè)量基準(zhǔn)的精度，
• 細(xì)分精度，和
• 位置信號(hào)噪音。 測(cè)量基準(zhǔn)的精度 測(cè)量基準(zhǔn)的精度主要取決于
• 光柵的均勻性和柵距定義，
• 光柵與其基體找正情況，和
• 光柵基體的穩(wěn)定性。
測(cè)量基準(zhǔn)的精度由未補(bǔ)償?shù)幕€誤差大 值表示。在理想條件下，用批量生產(chǎn)的讀 數(shù)頭測(cè)量位置誤差，用于確定該精度。測(cè) 量點(diǎn)之間的距離等于信號(hào)周期的整數(shù)倍。 因此，細(xì)分誤差無(wú)影響。
精度等級(jí)a決定長(zhǎng)度不超過一米的長(zhǎng)度范 圍內(nèi)基線誤差上限。對(duì)于特殊光柵尺，還 提供已定義的測(cè)量基準(zhǔn)間距的基線誤差。
細(xì)分精度
細(xì)分精度主要受以下因素影響
• 信號(hào)周期大小，
• 光柵的均勻性和柵距定義，
• 掃描掩膜質(zhì)量，
• 傳感器特性，及
• 信號(hào)處理質(zhì)量。
細(xì)分精度由大批量生產(chǎn)的測(cè)量基準(zhǔn)確定， 并用細(xì)分誤差的大典型值u表示。帶模 擬接口的光柵尺用海德漢電子設(shè)備（例如 EIB 741）測(cè)試。該大值不含位置信號(hào)噪 音，并將其標(biāo)注在技術(shù)參數(shù)中。
細(xì)分誤差在非
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 479，LIDA 489
增量式直線光柵尺，測(cè)量范圍可達(dá)6 m
• 測(cè)量步距達(dá)10 nm
• 自帶限位開關(guān)
• 鋼尺帶粘結(jié)在安裝面上
• 尺帶和讀數(shù)頭配套使用
