敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺
測(cè)量精度
直線測(cè)量精度主要取決于
• 光柵質(zhì)量,
• 光柵基體質(zhì)量,
• 掃描質(zhì)量,
• 信號(hào)處理電子電路質(zhì)量和
• 光柵尺在機(jī)床內(nèi)的安裝情況。
可將這些因素細(xì)分為特定編碼器的位置誤 差和應(yīng)用相關(guān)的因素。為評(píng)估可獲得的系 統(tǒng)精度,必須綜合考慮各項(xiàng)因素中每一 項(xiàng)。
特定光柵尺位置誤差
特定光柵尺位置誤差包括
• 測(cè)量基準(zhǔn)的精度,
• 細(xì)分精度,和
• 位置信號(hào)噪音。 測(cè)量基準(zhǔn)的精度 測(cè)量基準(zhǔn)的精度主要取決于
• 光柵的均勻性和柵距定義,
• 光柵與其基體找正情況,和
• 光柵基體的穩(wěn)定性。
測(cè)量基準(zhǔn)的精度由未補(bǔ)償?shù)幕€誤差大 值表示。在理想條件下,用批量生產(chǎn)的讀 數(shù)頭測(cè)量位置誤差,用于確定該精度。測(cè) 量點(diǎn)之間的距離等于信號(hào)周期的整數(shù)倍。 因此,細(xì)分誤差無(wú)影響。
精度等級(jí)a決定長(zhǎng)度不超過(guò)一米的長(zhǎng)度范 圍內(nèi)基線誤差上限。對(duì)于特殊光柵尺,還 提供已定義的測(cè)量基準(zhǔn)間距的基線誤差。
細(xì)分精度
細(xì)分精度主要受以下因素影響
• 信號(hào)周期大小,
• 光柵的均勻性和柵距定義,
• 掃描掩膜質(zhì)量,
• 傳感器特性,及
• 信號(hào)處理質(zhì)量。
細(xì)分精度由大批量生產(chǎn)的測(cè)量基準(zhǔn)確定, 并用細(xì)分誤差的大典型值u表示。帶模 擬接口的光柵尺用海德漢電子設(shè)備(例如 EIB 741)測(cè)試。該大值不含位置信號(hào)噪 音,并將其標(biāo)注在技術(shù)參數(shù)中。
細(xì)分誤差在非
敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線光柵尺
LIDA 479,LIDA 489
增量式直線光柵尺,測(cè)量范圍可達(dá)6 m
• 測(cè)量步距達(dá)10 nm
• 自帶限位開(kāi)關(guān)
• 鋼尺帶粘結(jié)在安裝面上
• 尺帶和讀數(shù)頭配套使用
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