敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線(xiàn)光柵尺

 傳感器生成四路近正弦電流信號(hào)（I0°， I90°，I180°和I270°），相互間的相位差 為90°電子角。這些掃描信號(hào)開(kāi)始時(shí)并 不對(duì)稱(chēng)于零線(xiàn)。因此，反向平行地連接 光電池，以生成兩路相位差90°電子角 的輸出信號(hào)I1和I2，這兩路信號(hào)對(duì)稱(chēng)于 零線(xiàn)。

在示波器的X/Y坐標(biāo)圖中，這兩路信號(hào) 形成李薩如圖。理想輸出信號(hào)顯示為中 心圓。偏離正圓形和偏離位置的原因是 位置誤差所致，因此直接影響測(cè)量結(jié) 果。圓的大小對(duì)應(yīng)于輸出信號(hào)幅值， 它可在一定限度內(nèi)變化，不影響測(cè)量 精度

 干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的光衍射和 光干涉生成位移測(cè)量的信號(hào)。

階梯光柵作為測(cè)量基準(zhǔn)：在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光線(xiàn)。其前方是掃描掩 膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射 相位光柵。

光波穿過(guò)掃描掩膜時(shí)，將光波衍射為光強(qiáng) 近似的三束光：+1、0和-1。在被光柵尺 衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強(qiáng) 至強(qiáng)的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩 膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射 和干涉。也形成三束光，并以不同的角度 離開(kāi)掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng) 轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。

當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，衍 射波面產(chǎn)生相位移：移過(guò)一個(gè)柵距時(shí)將正 一級(jí)衍射波面在正方向上偏移一個(gè)光波波 長(zhǎng)，而負(fù)一級(jí)衍射光波面在負(fù)方向上偏移 一個(gè)光波波長(zhǎng)。由于這兩束光離開(kāi)相位光 柵時(shí)相互發(fā)生干涉，這兩束光彼此相對(duì)位 移兩個(gè)光波波長(zhǎng)。也就是說(shuō)，相對(duì)運(yùn)動(dòng)一 個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期。

干涉光柵尺的柵距較小，例如8 µm、4 µm甚至更小。其掃描信號(hào)基本沒(méi)有高次 諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光 柵尺特別適用于小測(cè)量步距和高精度應(yīng) 用。當(dāng)然都滿(mǎn)足實(shí)用的安裝公差要求。 LIP、LIF和PP直線(xiàn)光柵尺采用干涉掃描 原理。

敞開(kāi)式HEIDENHAIN直線(xiàn)光柵尺

 LIDA 473，LIDA 483

帶限位開(kāi)關(guān)的增量式直線(xiàn)光柵尺

• 測(cè)量步距達(dá)10 nm

• 玻璃或玻璃陶瓷測(cè)量基準(zhǔn)

• 易于安裝，粘結(jié)固定

• 直線(xiàn)光柵尺和讀數(shù)頭配套使用