敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺

干涉掃描原理 干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的光衍射和 光干涉生成位移測(cè)量的信號(hào)。

階梯光柵作為測(cè)量基準(zhǔn)：在平反光面上刻 有0.2 µm高度的反光線。其前方是掃描掩 膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射 相位光柵。

光波穿過掃描掩膜時(shí)，將光波衍射為光強(qiáng) 近似的三束光：+1、0和-1。在被光柵尺 衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強(qiáng) 很強(qiáng)的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩 膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射 和干涉。也形成三束光，并以不同的角度 離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng) 轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。、 當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，衍 射波面產(chǎn)生相位移：移過一個(gè)柵距時(shí)將正 一級(jí)衍射波面在正方向上偏移一個(gè)光波波 長，而負(fù)一級(jí)衍射光波面在負(fù)方向上偏移 一個(gè)光波波長。由于這兩束光離開相位光 柵時(shí)相互發(fā)生干涉，這兩束光彼此相對(duì)位 移兩個(gè)光波波長。也就是說，相對(duì)運(yùn)動(dòng)一 個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期。

 干涉光柵尺的柵距較小，例如8 µm、4 µm甚至更小。其掃描信號(hào)基本沒有高次 諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光 柵尺特別適用于小測(cè)量步距和高精度應(yīng) 用。當(dāng)然都滿足實(shí)用的安裝公差要求。

LIP、LIF和PP直線光柵尺采用干涉掃描 原理。

敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺

• 測(cè)量步距 < 1 nm

• 測(cè)量基準(zhǔn)用螺栓固定