HEIDENHAIN直線光柵尺增量測量法介紹

在不理想的情況下，可能需要運動機床 測量范圍的相當(dāng)大部分。為加快和簡化 “參考點回零"操作，許多海德漢尺帶距 離編碼參考點，這些參考點之間彼此相距 數(shù)學(xué)算法確定的距離。因此只需運動數(shù)毫 米，一旦移過兩個相鄰參考點后，后續(xù)電 子電路就能找到參考點位置。距離編碼參考點的光柵尺在型號后 均帶字母“C"（例如LIF 181C）。對于距離編碼參考點，參考點B的位 置用兩個參考點間步距數(shù)和以下公式計算：

HEIDENHAIN直線光柵尺光電掃描

海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無接觸，因此無磨 損。光電掃描可以檢測到非常細小的光柵，柵線寬度可僅數(shù)微米，并能輸出非常 細小的信號周期信號。 測量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴(yán)重。

海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理：

1、成像掃描原理用于10µm至200µm的柵距。

2、干涉掃描原理用于柵距4µm甚至更小柵距的光柵。成像掃描原理 簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信號：兩個柵距相同或相近的光柵與掃描掩 膜彼此相對運動。

掃描掩膜的基體為透明色，而作為測量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明 材料也可以為反光材料。當(dāng)平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成 明暗的光影區(qū)。在該處設(shè)有柵距相同或相近的掃描光柵。當(dāng)兩個光柵相對運動時， 入射光被調(diào)制：在狹縫對齊時，光線通過。

增量測量法的磁柵由周期性柵線組成。通過計算自某點開始的增量數(shù)（測量步距 數(shù)）獲得位置信息。由于必須用參考 點確定位置值，因此測量基準(zhǔn)的光柵尺上 還有一個參考點刻軌。在光柵尺上，由參 考點確定的位置是在一個信號周期分 配的。因此，必須通過掃描參考點建立絕 對基準(zhǔn)點或確定上次選擇的原點。

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