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微型電子設(shè)備中的微電子機(jī)械系統(tǒng)，即MEMS經(jīng)常由于磨擦吸附力（在物體表面相互磨擦產(chǎn)生的吸引力）而失效。美國阿肯色大學(xué)的科學(xué)家研究出一種“表面－外形”技術(shù)手段來降低這種力從而使微型部件間的相互影響減弱，使其能正常工作。 

機(jī)械工程系助理教授鄒敏（音譯）說：“在MEMS設(shè)備中解決磨擦吸附力有兩種途徑，一種是化學(xué)方法——即在表面使用化學(xué)藥劑來減弱磨擦力；另一種就是外形技術(shù)，這種方法很簡單，我們設(shè)計(jì)的納米凸起可以降低物體表面的接觸面積。”

這一項(xiàng)目的目標(biāo)是制造一個(gè)疏水表面，用通用工程基準(zhǔn)來說的話就是“水接觸角”，疏水性指的是水形成水珠或者水球的過程，就如同雨落在汽車擋風(fēng)玻璃上的樣子（這是用化學(xué)手段實(shí)現(xiàn)的）。水接觸角是一種用來衡量水珠大小的標(biāo)準(zhǔn)，水接觸角大于90度的話就可以被認(rèn)作是疏水的，如大于150度的話則可稱作“超疏水”。當(dāng)水接觸角近似180度時(shí)，水珠會形成一個(gè)近似的球面，接觸面積是小的。
只用外形技術(shù)手段，鄒的研究小組成功的制造了水接觸角高達(dá)137度的硅表面，還從未有其他科學(xué)家在不使用化學(xué)藥劑的前提下實(shí)現(xiàn)過更高的水接觸角。鄒的研究小組還將表面外形技術(shù)和化學(xué)手段結(jié)合起來進(jìn)行研究，在這項(xiàng)研究中他們實(shí)現(xiàn)了大于150度的水接觸角，從而制造出超疏水表面。 

鄒的研究小組是從無定形硅（沒有固定結(jié)晶形態(tài)和形狀的硅）的研究開始的。研究者用鋁誘導(dǎo)結(jié)晶，使之成為納米晶?；蛭⒕Я＃纬?ldquo;粗糙”表面。用常規(guī)爐采用退火手段（加熱和冷卻）誘導(dǎo)無定形硅結(jié)晶化。 

鄒說：“我們證實(shí)了通過控制退火的溫度和時(shí)間，能夠控制納米顆粒覆蓋的表面面積” 

除了電子設(shè)備，研究還可應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)設(shè)備。不僅如此，它還進(jìn)一步深化了對磨擦學(xué)的理解，這項(xiàng)對磨擦的研究，包括接觸面相對運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的磨損和潤滑，可應(yīng)用于齒輪、軸承以及電腦硬件中的磁頭表面。 

鄒的這項(xiàng)研究1月發(fā)表于美國機(jī)械工程學(xué)會召開的微型和納米系統(tǒng)集成與工業(yè)化大會上，并獲得了大會的*論文獎(jiǎng)。