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H-824.G2-德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
  • H-824.G2-德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

貨物所在地:天津天津市

更新時間:2024-12-23 13:31:20

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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺,10公斤負載,45毫米/25度行程,0.3微米位移,±0.1微米/±2微弧度重復精度,25毫米/秒運動速度。

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 六足臺 H-824.G2


一、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品特點:

10公斤負載,45 毫米/25度行程,0.3微米位移,±0.1 微米/±2微弧度重復精度,25毫米/秒運動速度。

二、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品應用領域:

H-824.G2六足位移臺主要應用領域為顯微操縱,生物技術,半導體制造

三、H-824.G2六足位移臺產(chǎn)品參數(shù):

行程參數(shù):

主動軸:X,Y,Z,θX,θY,θZ

X、Y向上的行程:±22.5毫米

Z向上的行程:±12.5毫米

θX、θY向上的行程:±7.5

θZ向上的行程:±12.5

精度參數(shù):

促動器設計分辨率:0.007微米

X、YZ向上的位移:0.3微米

θX、θY、θZ向上的位移:3.5微弧度

X、Y向上的空回:2微米

Z向上的空回:0.7微米

θX、θY向上的空回:14微弧度

θZ向上的空回:17微弧度

X、Y向上的重復精度:±0.25微米

Z向上的重復精度:±0.1微米

θX、θY向上的重復精度:±2微弧度

θZ向上的重復精度:±2微弧度

XYZ向上的速度:1毫米/

θX、θY、θZ向上的速度:11毫弧度/

Typ.X、YZ向上的典型速度:0.5毫米/

Typ.θX、θY、θZ向上的速度:5.5毫弧度/

負載參數(shù):

XY向上的剛性:1.7/微米

Z向上的剛性:7/微米

負載能力(底板為水平方向):10千克

負載能力(底板為任意方向):2千克

保持力(斷電、底板為水平方向):100

保持力(斷電、底板為任意方向):50

其他參數(shù):

電機類型:直流齒輪電機

工作溫度范圍:-1050°C

材料:鋁

質(zhì)量:8千克

電纜長度:3


德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 六足位移臺 六足臺 H-824.G2


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